株式会社エムアイティでは、製造装置の組み立て・真空配管・排気配管・半導体材料ガス配管・配管ユニットなどの製作・組立・施工を行っております。

株式会社エムアイティ

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事業内容

加工部

半導体材料ガス用配管/真空・排気配管/水配管
水盤/真空ポンプ用架台/機械加工部品
設計・製作 ユニット組立

現地施工まで一貫した体制にて対応いたします。

 

製造部

FPD/半導体/太陽電池 製造装置のメンテナンス

・自社クリーンルーム内及び、御指定工場内での装置組立/調整/検査/出荷梱包 業務

弊社ではFPD製造プロセスにおいてスパッタ、蒸着装置の製造を行っており、 製造から調整まで一貫した管理体制を構築し、仕様変更にも迅速に対応しております。生産環境も大型化に対応した設備を整え、顧客ニーズを充分に満たしており ます。新技術、製造プロセスのリードタイム短縮提案、環境面にも配慮した資材調達を行い、信頼性の高いC/S(Customer Satisfaction)を得ております。

・御指定工場内での装置据付/メンテナンス/改造

FPD/太陽電池 関連

・インライン式PDP保護膜蒸着装置
・インライン式PVD成膜装置
・インライン式薄膜太陽電池成膜装置
・枚葉式PVD成膜装置
・枚葉式プラズマCVD成膜装置

半導体関連

・枚葉式スパッタリング装置
・ドライエッチング装置
・検査用ハンドラー装置

装置付属ユニット

・ユーティリティ供給ユニット
・FPD基盤反転ユニット
・基盤トレイ搬送ユニット

設備紹介 製品紹介 環境への取組み