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事業内容
半導体材料ガス用配管/真空・排気配管/水配管
水盤/真空ポンプ用架台/機械加工部品
設計・製作 ユニット組立
現地施工まで一貫した体制にて対応いたします。
FPD/半導体/太陽電池 製造装置のメンテナンス
・自社クリーンルーム内及び、御指定工場内での装置組立/調整/検査/出荷梱包 業務
弊社ではFPD製造プロセスにおいてスパッタ、蒸着装置の製造を行っており、 製造から調整まで一貫した管理体制を構築し、仕様変更にも迅速に対応しております。生産環境も大型化に対応した設備を整え、顧客ニーズを充分に満たしており ます。新技術、製造プロセスのリードタイム短縮提案、環境面にも配慮した資材調達を行い、信頼性の高いC/S（Customer Satisfaction）を得ております。
・御指定工場内での装置据付/メンテナンス/改造
FPD/太陽電池 関連
・インライン式PDP保護膜蒸着装置
・インライン式PVD成膜装置
・インライン式薄膜太陽電池成膜装置
・枚葉式PVD成膜装置
・枚葉式プラズマCVD成膜装置
半導体関連
・枚葉式スパッタリング装置
・ドライエッチング装置
・検査用ハンドラー装置
装置付属ユニット
・ユーティリティ供給ユニット
・FPD基盤反転ユニット
・基盤トレイ搬送ユニット
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